检漏仪的响应时间会影响检漏工作的速度，正常运行的仪器响应时间不大于3s。笔者实测时，在漏点处喷射氦气5～10s后，检漏仪就发生响应，对于如此庞大的真空系统，其反应是相当的灵敏。用于电厂检漏的氦质谱检漏仪。关键部件均为进口，性能。不仅灵敏度高，而且操作方便，能够双灯丝自动切换、自动调零、自动校准和自动量程切换。质谱室里的灯丝发射出来的电子，在室内来回地振荡，并与室内气体和经漏孔进入室内的氦气相互碰撞使其电离成正离子，这些氦离子在加速电场作用下进入磁场，由于洛伦兹力作用产生偏转，形成圆弧形轨道，改变加速电压可使不同质量的离子通过磁场和接收缝到达接收极而被检测。
本次试验被检测部位共40余处，并对汽轮机及小汽轮机轴封部位进行了变工祝复测。终结果发现特大漏点1处，大泄漏点1处，中漏点1处，电力行业检漏厂，小泄漏点10处，其他点为微漏或不漏。测试发现特大漏点部位为低压缸扩侧防爆膜，大泄漏点部位为低压缸固侧防爆膜，中泄漏点部位为低压缸扩侧法兰。为了在不影响机组正常运行的情况下，快速有效的改善机组真空状况，我们对主要漏点进行了涂抹密封胶临时堵漏处理，经过多次处理并检测，终处理后满足使用要求。
检漏仪对示漏气体的要求：在空气环境中含量尽可能少且组分基本恒定的气体，满足检漏灵敏度方面的要求，减少本底干扰检测的准确性。氦质谱检漏仪主要技术指标：1. 小可检漏率：5×10-12Pa·m3/s。2. 漏率显围：1×10-3—1×10-12Pa·m3/s氦气检漏仪可对使用过程中产生的浓度不合格氦气进行提纯，极大降低氦气损耗（功能可选）。
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