微焦点X射线检测
主要技术参数：
1、开放式球管射线源，元器件失效分析，高管电压160kV，大管电流1mA，大靶功率7W
2、焦点尺寸2μm
3、探测器倾斜角度为±70°，图像≥100万像素，灰度等级为16位
4、载物台可绕旋转轴360度旋转
5、大可检测样品重量5Kg
6、大可检测样品尺寸为
460mm×410mm×300mm
用途：可用于半导体产品、微电子元件、电路板焊接器件等电子产品焊点质量检测及多余物检测，也可进行小直径管焊缝质量检测。
无损检测系统1、非破坏性非破坏性——是指在获得检测结果的同时，除了剔除不合格品外，不损失零件。因此，检测规模不受零件多少的限制，既可抽样检验，又可在必要时采用普检。因而，更具有灵活性（普检、抽检均可）和可靠性。2、互容性互容性——即指检验方法的互容性，即：同一零件可同时或依次采用不同的检验方法；而且又可重复地进行同一检验。这也是非破坏性带来的好处。3、动态性动态性——这是说，无损探伤方法可对使用中的零件进行检验，而且能够适时考察产品运行期的累计影响。因而，可查明结构的失效机理。4、严格性严格性——是指无损检测技术的严格性。首先无损检测需要仪器、设备；同时也需要专门训练的检验人员，按照严格的规程和标准进行操作。5、检验结果的分歧性检验结果的分歧性——不同的检测人员对同一试件的检测结果可能会有分歧。特别是在超声波检验时，同一检验项目要由两个检验人员来完成。需要“会诊”。概括起来，失效分析仪，无损检测的特点是：非破坏性、互容性、动态性、严格性以及检测结果的分歧性等。
微焦点X射线机的主要技术参数有那些？
- 管电压范围：微焦点X射线管的高压工作范围。
- 大管电流：从阴极到阳极的大电流。
- 大功率：微焦点X射线管的大功率。
- 电子束聚焦能力（焦点）：在给定功率下的焦点尺寸，失效分析设备，如：3μm@5W；0.2mm@320W。焦点一般连续可调。
- 细节分辨能力：通常公认的小的细节分辨能力为焦点尺寸的一半。
- 锥束角：在给定窗口直径下的X射线角。如：孔径2mm时，25°。
- 锥束角线均匀度：射线视场强度的均匀性，以百分比表示。
- X射线剂量率稳定性：X射线剂量随时间的变化性，以 百分比/小时 表示。
- 小焦距：通常用焦点到X射线管窗口外表面的距离来表示。
- 靶材料：通常有钨，钼，铜以及其它材料。
- 小高压稳定时间：系统在大电压和大功率模式下，从开机到稳定运行所需的时间。
- 其它参数：重量，海南失效分析，尺寸，电源，及温度湿度要求等。
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