特种气体在太阳能电池中的应用：晶体硅电池片生产中的扩散工艺用 到 POCl3 和 O2，减反射层 PECVD 工艺用到 SiH4、NH3，刻蚀工艺用到 CF4；特种气体分类：高纯气体通常指利用现代提纯技术能达到的某个等级纯 度的气体，对于不同类别的气体，纯度指标不同，大多用于超大规模集成电路及分离器 件、光电子等高科技领域；特种气体的重要性：正是因为电子气体在集成电路制造中的使用量大，应用范围广的特点。所以电子气体直接决定了芯片制造的良率 与可靠性等等。所以电子气体也被誉为集成电路制造中的“血液”。
特种气体是由两大类气体组成的。一类为单元高纯气体，另一类为混合气体。对于单元高纯气体，根据现已收集到的文献，汇总起来共有227种，可分成五个类别。工业上，拉萨特种气体，把常温常压下呈气态的产品统称为气体产品.气体产品种类繁多，大致可以分为一般工业气体和特种气体两大类.一般工业气体产销量大，但对纯度要求不高.特种气体产销量虽小，但根据不同的用途。有气体仓库贮存。气瓶仓库应通风干燥、清洁， 避免阳光直射， 气瓶库应清楚明“气瓶贮存”字样， 显示适当的危险标记。
特种气体指半导体生产环节中，比如延伸、离子注进、掺和、洗涤、 遮掩膜形成过程中使用到一些化学气体，也就是气体类别中的电子气体，特种气体的储存注意事项：储存高压气体≥300m，特种气体厂家，液化气≥3000kgs时，储存场所需要经过县级以上相关单位批准。高压容器储存场所出入口及显眼处，特种气体供应商，需设有安全警示牌。特种气体种类：广义的“电子气体”指可用于电子工业生产中使用的气体，是重要原材料之一， 狭义的“电子气体”特指可用于电子半导体领域生产的特种气体。
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