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流量控制器的控制响应速度

物理时间常数

物理时间常数用希腊字母Tau来表示，是现今为数不多的用来描述响应时间的标准之一，即：控制器到达设定值某个百分比所需要的时间，被定义为1-1/e， 其中e是作为自然对数底数的无理数，其值为2.72，所以1-1/e即为设定值的63.2%。虽然该定义是一个物理标准，多晶炉流量计，可能说明不了什么问题，因为余下的设定值的36.8%所花费的时间可能多于或少于之前的63.2%。从下面示波器截图中可以看到：ALICAT?质量流量控制器仅用了7.4毫秒便到达了设定值的63.2%。

任意设定值百分比变化区域

不少质量流量控制器的技术参数采用设定值某一百分比区间内的变化来定义设备响应速度，比如：从设定值的10%到达90%所需要的时间。由于和后的 10%控制响应曲线变化，由此而得出的控制响应速度可能无法与实际的控制性能等同。如下图所示，ALICAT?质量流量控制器用了11.4毫秒到达设定值， 从示波器波形图中可以清晰地观察到：50%那段跨度，多晶炉流量计报价，低于10%和高于90%那两段的跨度则小了很多。就该图而言，如果按照从设定值10%到达90%所用的时间来定义设备响应速度的话，那么结论是6~7毫秒。

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流量控制器

怎样选择流量显示仪？

我们的流量显示仪非常丰富，多晶炉流量计哪里有，可供用户选择的余地很大。

我们有单通道（配接一台MFM/MFC）和多通道（配接多台MFM/MFC）产品；多通道产品中又有共用显示和分别显示之分（前者体积较小，价格稍便宜，但显示需切换；后者体积较大，但显示直观）；有台式﹑仪表式﹑和上架机箱式；有输入输出只能是电压信号的，也有电压和电流信号都行的；多数产品使用交流220V电源，也有产品可使用交流110V电源；有MFC和MFM都能配的，也有单配MFM的。

还有流量积算仪可进行瞬时流量和累积流量的显示。

将流量显示仪安装在机柜上的用户，请注意安装的开孔尺寸。

流量控制器

怎样进行不同气体的质量流量换算？

产品出厂一般是按氮气标定﹑按氮气流量确定流量规格。用同一规格的MFM/MFC测量不同的气体，当流量检测值相同时，实际的流量值可能不同。我们在说明书中给出了不同气体相对于标定气体（氮气）的质量流量转换系数。

如果您使用的产品是标准出厂产品（按氮气标定显示），而需要知道实际使用气体的质量流量时，先在产品说明书中找到实际使用气体的转换系数。在测量过程中，以此系数乘以流量显示值即是实际使用气体的质量流量；反之，在确定所购产品的量程时，以实际使用气体的期望流量值除以转换系数，多晶炉流量计多少钱，即是相应的氮气标定产品的流量值。

空气、O2﹑H2﹑CO﹑HCL、HF等气体，其转换系数约为1.0 ， 一般可直接用按氮气标定显示的产品，不必换算。