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主要表现为旋片与泵腔内表面的摩擦阻力过大,pfeiffer普发分子泵漏油,致使电机无法带动旋片。原因是旋片变形,转子内的弹簧张开后不能复位,或弹簧压力和旋片自身离心力的合力过大,导致旋片与泵腔内表面的摩擦阻力过大。这时就应及时修复旋片和弹簧,若不能修复则应更换。
分子泵是否对冷却有明确要求?如风冷需要外界温度是多少?如水冷则对水有何具体要求?如未达到要求会出现何后果?
答:注意水温和水流量,冷却不良会导致无故停机、碎泵、油变黑等。
分子泵电源存在接地、屏蔽等问题,应如何做才是方式?
答:电源本身有接地线,只需要保证市网有良好接地就可以了;屏蔽主要是指对强磁场和强辐射的屏蔽。
Pfeiffer 普发TMH521P分子泵维修,Pfeiffer TMH521P普发涡轮分子泵进气法兰口DN 100 ISO-K/DN 100 ISO-F/DN 160 ISO-K/DN 160 ISO-F,出气法兰口 DN 25 ISO-KF,DN100ISO-K/DN 100ISO-F抽速可达到290 L/s,DN160 ISO-K/DN 160 ISO-F抽速可达到510 L/s,833HZ转速为50000 rpm,550HZ转速为33000 rpm,极限真空5X10-10 mbar,对应的控制器为:Pfeiffer TC600等。
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因为涡轮增压分子泵的滚动轴承和转子都会髙速旋转,对震动非常比较敏感,传送到滚动轴承的震动会危害滚动轴承的使用寿命,传送到电机转子的震动会导致电机转子产生偏移,乃至会与泵壳或电机定子触碰。而一旦髙速旋转的电机转子与其他静止不动的一部分触碰,极大的撞击力会马上导致电机转子叶子的粉碎,整泵也随着损毁。
Pfeiffer TMU521-德国普发分子泵维修测试照片:分子泵电压71V,分子泵频率:833Hz
Pfeiffer TMH521是德国普发公司中型涡轮分子泵,对应Pfeiffer TC600 及Pfeiffer DCU300,Pfeiffer TMH521对应口径有ISO100及ISO160-K,CF接口的Pfeiffer TMU521有CF100及CF160 两种口径
分子泵的关键部件是转动叶片和固定不动叶片(图1)。转动叶片的转速比达1800~90000rpm,叶片端客户达百余m/s,贴近分子结构的平均速率,根据和汽体分子结构的撞击将汽体分子结构运送到出气口。分子泵的转速比可做到10000r/min~50000r/min,假如立即抽空气,气旋会对分子泵导致不可逆的损害乃至报费。当对向设定的转动叶片开展髙速旋转时,汽体分子结构从呼吸侧健身运动到排气管侧的概率是A,汽体分子结构从排气管侧往复运动到呼吸侧的概率是B
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真空环境的另一个特点还在于它在较低的温度下、具有进行一定反应的能力,例如在同样温度下,有些反应过程在大气中则难以进行,但是在低压下就十分容易。这就是真空化合物分解和有色金属冶炼的基本原理。
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直联旋片真空泵的返油
(1)真空泵的止回阀未关好,停泵后,油位很快下降,可再开再停,观察变化或拆开检查。
(2)真空泵的两泵盖内油封装配不当或磨损,可进行调换。
(3)真空泵的泵盖或泵身平面不平整,可进行修整。
(4)真空泵的排气阀片损坏 ,应进行调换。
注:检查直联旋片真空泵的的极限真空,以压缩式shui银真空计为准
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