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Leybold Turbovac TW 701复合分子泵,对应的分子泵控制器为:
Leybold Turbo Drive 700 with Prrofibus
Leybold早将陶瓷轴承应用于分子泵,莱宝涡轮分子泵故障,其rotor设计充分考虑到加工的应力,莱宝涡轮分子泵,转动的叶片和定子之间只有
0.1毫米。制造公差达到微米级。在转速高达每分钟7.2万转时,叶片端部的速度接近超音速。
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莱宝真空生产的涡轮分子泵能够获得洁净的高真空和超高真空,具有操作简单,可靠性高等特点。
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莱宝Leybold turbovac MAG W 3200涡轮分子泵
TURBOVAC MAG W 3200 C/CT常用于半导体工业使用的涡轮分子泵。在半导体工业,莱宝涡轮分子泵维修多少钱,涡轮分子泵用于以下应用场合:- 蚀刻;- 溅射;- 离子注入;- CVD;- 光刻。这些应用中,经常需要抽除腐蚀性气体。需要使用配有吹扫气体设备的磁悬浮分子泵,以免轴承损坏。尤其对于金属蚀刻,涡轮分子泵的泵内可能发生沉积现象, 选用带温度控制的扩展附件在MAG 1500 C、MAG 2000 C、MAG2800和MAG 3200可以防止这种情况。与机械轴承涡轮分子泵相比,磁悬浮泵的优势在于气体流量较大时可以防止轴承过热,能够有效地防止腐蚀性介质对磁悬浮轴承的损坏。
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