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随着真空应用的发展以及真空技术在生产和科学研究领域中对其应用的广泛性,真空泵在不同的工作压力范围和不同的工作要求下使用不同的类型。分子真空泵,它是利用高速旋转的转子把能量传输给气体分子,使之获得定向速度,从而被压缩、被驱向排气口后为前级抽走的一种真空泵。
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Edwards NEXT 2002000 VER.160W三入口能同时抽取三个腔体的真空,爱德华涡轮泵E2M28哪家好,分别抽速可达到215 L/s / 28 L/s,对应的控制器为Edwards EXDC160。
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STPA2203C Edwards磁悬浮涡轮分子泵是为半导体应用而设计的涡轮分子泵STPA2203C Edwards磁悬浮涡轮分子泵它使用的转子,可实现的性能,大的制程灵活性。全新的半机架控制器能够节省更多空间,且采用直流驱动,无需电池即可运行。STPA2203C 已经由半导体和磁介质行业的大型刻蚀、离子注入和沉积设备制造商投入使用,并得到了。
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