广州潽拓光电科技有限公司——varian分子泵
分子泵的原理分子泵是一种动量型真空获得设备，子分子流态下，气体分子与高速运动的表面发生碰撞获得一定方向的动量，从而使气体分子得到逐级压缩，***后被抽除。
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Varian SH01101UNIV - SH-110 SCROLL PUMP Varian涡旋式干泵SH110， VarianSH110是美国瓦里安公司涡旋真空泵，为用户提供一种完全无油的真空，其极限真空为0.1mabr，varian分子泵保养费用， 抽速为：100L/M
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真空泵油积碳，发黑，像油泥一样，所以在排气口处出现冒油烟。出现这种情况时，varian分子泵维修中心，要把真空泵油更换掉，将泵从系统上拆下，varian分子泵维保，用干净的方盘接在放油孔下。旋油塞和放油塞，放出污油。断续启动电机，使各真空小室内的油全部排出。然后从各抽气管加入干净的真空泵油200~300CC 。断续启动电动机，再次清洗各真空室。这样经 2~3次重复清洗，放光清洗用油，旋上放油塞。从注油塞处加入干净的真空泵油到视窗口的中心位置，旋紧注油塞不使漏气。
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VARIAN Turbo-V301分子泵维修
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VARIAN Turbo-V前级耐压高达18mbar，***da的优点是可以配更小的前级泵，如 V301 的分子泵只需配 5m3/hr 的 SH-100 的干泵或 DS-102 机械泵作为前级泵既可满足要求。Macro Torr 技术不仅降低了真空系统的成本，也使分子泵的性能更好。
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