





目前的MEMS压力传感器有硅压阻式压力传感器和硅电容式压力传感器,两者都是在硅片上生成的微机械电子传感器。
硅压阻式压力传感器是采用高精密半导体电阻应变片组成惠斯顿电桥作为力电变换测量电路的,具有较高的测量精度、较低的功耗和极低的成本。惠斯顿电桥的压阻式传感器,如无压力变化,其输出为零,几乎不耗电。
MEMS硅压阻式压力传感器采用周边固定的圆形应力杯硅薄膜内壁,1001450793燃油粗滤芯优势,采用MEMS技术直接将四个高精密半导体应变片刻制在其表面应力大处,组成惠斯顿测量电桥,作为力电变换测量电路,将压力这个物理量直接变换成电量,其测量精度能达0.01-0.03%FS。
电容式压力传感器利用MEMS技术在硅片上制造出横隔栅状,上下二根横隔栅成为一组电容式压力传感器,1001450793燃油粗滤芯,上横隔栅受压力作用向下位移,改变了上下二根横隔栅的间距,也就改变了板间电容量的大小,即△压力=△电容量。


机油压力传感器
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机油压力传感器安装在发动机的主油道上,当发动机运行时,1001450793燃油粗滤芯原厂,压力测量装置检测机油的压力,将压力信号转变为电信号送至信号处理电路,1001450793燃油粗滤芯品质,经过电压放大和电流放大,通过信号线将放大后的压力信号连接至油压指示表,改变油压指示表内部2个线圈通过的电流之比,从而指示出发动机的机油压力。经过电压放大和电流放大的压力信号,同时还与报警电路中设定的报警电压进行比较,当低于报警电压时,报警电路则输出报警信号,并通过报警线点亮报。

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