EO在4℃时比重为0.884，沸点为10.7℃，其密度为1.52，因此EO液体在室温条件下极易挥发成气体。
由于EO比重比水轻，如直接将EO排入水中，则可能会有大量EO溢出至周围环境。
EO遇水可形成乙二醇。EO蒸气压比较大，蒸气压越大则对物品的穿透性也越强，因为要充分达到对物品的灭菌效果，灭菌剂必须能充分接触物品的各个表面(内、外、浅、深)。EO的这种高穿透性大大提高了其灭菌效果。
小型灭菌器，多用于门处理少量和用品，目前有100%纯或和二氧化碳混合气体。这类灭菌器自动化程度比较高，可自动抽真空，自动加药，自动调节温度和相对湿度，EO环氧乙烷供应，可自动控制灭菌时间。对中型和小型灭菌器的要求是：有较好的耐压性能和密闭性能，应能承受1.25倍工作压力的水压试验，EO环氧乙烷哪里有，无变性和渗漏，可以抽真空度至53.3 kPa以上；加药量准确，保温性能好，可以调节消毒器内的温度和相对湿度；消毒后用外环境空气冲洗时，输入的空气经过滤器，可滤除≥0.3µm粒子的99.6%以上；排出的残余经无害化处理，灭菌物品中残留应低于15.2mg/m；灭菌环境中的浓度应低于2mg/m。
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