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Edwards NEXT 2002000 VER.160W
英国爱德华Edwards NEXT 2002000 VER.160W仪用设备泵保养
Edwards NEXT 2002000 VER.160W三入口能同时抽取三个腔体的真空,分别抽速可达到215 L/s / 28 L/s,对应的控制器为Edwards EXDC160。
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Edwards TURBO Pump 泵浦保养-英国爱德华真空分子泵维修,Edwards NEXT400D/NEXT400T爱德华涡轮分子泵
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分子真空泵,它是利用高速旋转的转子把能量传输给气体分子,使之获得定向速度,爱德华edwards真空泵维修联系电话,从而被压缩、被驱向排气口后为前级抽走的一种真空泵。
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Edwards STPA1603C英国爱德华磁悬浮分子泵维修
小巧而强大的Edwards STPA1603C涡轮分子泵采用Edwards的转子技术进行设计。它提供极高的吞吐量、*高的可靠性和yi流的性能,满足zui新一代半导体制程的需要。其半机架的控制器和紧凑型设计可节省可观的空间,而其的沉积减少系统提高了可靠性和性能。STPA1603C已经在zui新的200mm刻蚀工具上得到了证明,也能够满足新一代300mm氧化物腐蚀制程的需要。
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