洁净室施工可以分为6个子系统，总体能分为洁净系统和机电系统，分别占洁净室工程的50%，50%。洁净室施工需要具备较强的基础和技术实力，属于技术密集型，毛利相对较高。对于集成电路项目和新型显示项目，一般来说，洁净室施工占总投资比例10%-15%，土建施工占总投资比例6-10%。总投资中70-80%投入到固定资产，固定资产中20-30%投入到厂房建设中，厂房建设可以分为3个部分，工程设计、土建施工、洁净室施工，食品包装室净化车间装修，其分别占的比例为2-7%，30-40%，50-70%。
净化方案一：组合式空气处理机组+冷水机组+高效送风口：这是一个传统的净化空调系统的设计方案。组合式空气处理机组里含有各种功能段，如混合段、初效过滤段、表冷段、二次回风段(或中间段)加热段、加湿段、中效过滤段、风机段等。其冷源由冷水机组提供。净化方案二：水冷柜机+增压风柜+高效送风口：与前种方案比较，这是相对比较简单的空调方案。它可以大大地缩小机房的面积，水冷柜机可以根据具体的情况布置于较小机房内或净化车间内，增压风柜也可以布置于机房内或吊在机房内或在夹层内。
方案特点：A.建议新风经过集中处理后再与回风混合，这样可以减少表冷段的冷处理负担; B.这类方案一般可以适用洁净度较高的如百级、千级或万级、十万级等较低的净化无尘厂房。光学微电子净化工程一般包括：1、 洁净生产区；2、洁净辅助间（包括人员净化用房、物料净化用室和部分生活用室等）3、管理区（包括办公、值班、管理和休息等）
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