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热压法:ITO靶材的热压制作过程是在石墨或氧化铝制的模具内充填入适当粉末以后,哪里有银圆柱靶,以 100kgf/cm 2~1000kgf/cm 2的压力单轴向加压,同时以1000℃~1600℃进行烧结。热压工艺制作过程所需的成型压力较小,烧结温度较低,烧结时间较短。但热压法生产的ITO靶材由于缺氧率高,氧含量分布不均匀,从而影响了生产ITO薄膜的均匀性,且不能生产大尺寸的靶。
金属靶材就是高速荷能粒子轰击的目标材料。有金属类、合金类、氧化物类等等。
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