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复合式分子泵的形式很多，按结构分，主要有两种：一种是涡轮叶片与盘式牵引泵的串联组合；另一种是涡轮叶片与筒式牵引泵的串联组合。涡轮级主要用来提高泵的抽速，一般采用有利于提高抽速的叶片形状，级数在l0级以内。牵引级主要用来增加泵的压缩比，提高泵的出口压力。
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对于高真空/超高真空系统，当系统内的压力低于10-6毫巴以后，汕头Agilent真空泵，系统内氢气占的比例越来越大，而此时氢气的返流也越来越明显，Agilent真空泵设备保养，因此此时分子泵的有效抽速已经与产品说明书给出的参数相差很大了。分子泵对氢气的压缩比越大，Agilent真空泵检修，分子泵对氢气的实际有效抽速就越大；反之，则实际有效抽速已经所剩无几。
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分子泵是否对冷却有明确要求？如风冷需要外界温度是多少？如水冷则对水有何具体要求？如未达到要求会出现何后果？
答：注意水温和水流量，冷却不良会导致无故停机、碎泵、油变黑等。
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