




广州潽拓光电科技有限公司——爱德华分子泵
Edwards TURBO Pump 泵浦保养-英国爱德华真空分子泵维修,Edwards NEXT400D/NEXT400T爱德华涡轮分子泵
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分子真空泵,爱德华分子泵STP2503过热,它是利用高速旋转的转子把能量传输给气体分子,使之获得定向速度,从而被压缩、被驱向排气口后为前级抽走的一种真空泵。
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Edwards STPA1603C英国爱德华磁悬浮分子泵维修
小巧而强大的Edwards STPA1603C涡轮分子泵采用Edwards的转子技术进行设计。它提供极高的吞吐量、*高的可靠性和yi流的性能,爱德华分子泵,满足zui新一代半导体制程的需要。其半机架的控制器和紧凑型设计可节省可观的空间,而其的沉积减少系统提高了可靠性和性能。STPA1603C已经在zui新的200mm刻蚀工具上得到了证明,爱德华分子泵STP3306过热,也能够满足新一代300mm氧化物腐蚀制程的需要。
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爱德华edwards nEXT 300涡轮分子泵
nEXT泵采用Edwards成熟的轴承技术,上轴承为性磁悬浮轴承,下轴承为油润滑陶瓷轴承,爱德华分子泵STP3203维护,并改进转子设计,使其更加有效地实现分子拖曳行程,终提高抽速和压缩比,同时真正实现了用户自行维护。基本的分子泵系统通常由nEXT300D泵、TAG或TIC控制器、空冷或水冷附件以及合适的前级泵组成。
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