作为当今有效、可靠的脉冲紫外激光技术的代表，准分子激光有效推进了诸如半导体、AMOLED平板显示、薄膜、硅底板加工、有机金属沉淀、高温超导、中的技术革新。气体通常都是装在钢瓶容器之中但是均为高压充装气体，所以仍然要给予良好的保存条件，正常情况下，除了不能有其他物品对其进行撞击之外，高纯准分子激光气体，应该将气体放在不会被阳光直接照射的地方。目前准分子激光已广泛应用在临床医学以及科学研究与工业应用方面，如：钻孔、标记表面处理、激光化学气相沉积，物理气相沉积，磁头与光学镜片和硅晶圆的清洁等方面，微机电系统相关的微制造技术．
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