




热式气体质量流量控制器主要是用来控制各种气体的不同流量,用户一般使用的气源气体浓度为999,有些是9999。那么有些用户在使用超低浓度的气体时,是否还能用热式气体质量流量控制器来控制吗?低浓度的气体流经和通过流量计的时候,是否需要注意哪些问题呢?以及对气体的浓度有什么影响吗?
流量控制器
紧凑而坚固的仪器设计,为连续质量流量测量确保了重复性,用途非常广泛,可用于许多不同的行业和应用。安装位置以及安装方向对质量流量的检测无任何影响,即可随意安装且无直管段要求。本公司生产和销售的质量流量计和控制器过流阀体均采用316L不锈钢的材质,稳定性好,接触各种气体时很少会发生反应,故是适用于绝大多数的气体。在使用低浓度气体时,精密气体流量计哪家好,用户在订货时需特殊说明一下,本公司会根据实际使用,精密气体流量计价格,来选择相对应的密封材质,从而达到更好的适配性。即使是低浓度的气体,在通过流量计的时候,也是不会有吸附或干扰性的。
气体质量流量控制器在真空镀膜机中的使用
真空镀膜机中经常使用到的热式气体质量流量控制器主要是用来控制气体的进气量,把气体流量准确的输入到真空腔室内。AC-S030C系列的气体质量流量控制器主要是用于控制微小流量的气体,采用全新的制作工艺,是在20℃,1个大气压条件下标定的,主要是指气体在1分钟的体积流量单位。
热式气体质量流量计
热式流量计传感器包含两个传感元件,一个速度传感器和一个温度传感器。它们自动地补偿和校正气体温度变化。仪表的电加热部分将速度传感器加热到高于工况温度的某一个定值,使速度传感器和测量工况温度的传感器之间形成恒定温差。当保持温差不变时,电加热消耗的能量,也可以说热消散值,精密气体流量计,与流过气体的质量流量成正比。
质量流量控制器
蒸发镀膜一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来。并且沉降在基片表面,通过成膜过程(散点-岛状结构-迷走结构-层状生长)形成薄膜。 对于溅射类镀膜,可以简单理解为利用电子或高能激光轰击靶材,并使表面组分以原子团或离子形式被溅射出来,并且沉积在基片表面,经历成膜过程,形成薄膜。
流量控制器的应用中IST流量传感器的作用
IST-AG通过特殊的薄膜工艺,将高精度加热器,温度传感器或电堆封装在单一芯片内,构成流量测量的主要传感单元(Figure 2) ,通过流量传感器以响应绝大多数流量测量场景,薄膜技术的应用使得IST AG流量传感器具有很好的结构与性能优势。为此IST流量传感器在MFC中的应用工采网推荐瑞士IST 质量流量传感器 - FS5.0.1L.195的升级版IST-AG FS7流量传感器。
IST公司的FS5.0.1L.195是一个热质流量传感器,用于各种气流应用.热质流量传感器使用热传递原则,确定流体的流率.随着流体通过传感器,精密气体流量计厂家,热质由传感器传递到媒体.此关序取决于流动速率.随着流动增加,热量被传递.通过了解媒体的温度,即可通过为保持恒定温度差的电压补偿量得出流速。
而IST-AG FS7流量传感器宽广的测量范围允许将传感器直接置于被测气路当中,免去复杂的旁路设计。传感器具有陶瓷基底与钝化玻璃层进行保护,具有较佳的长期稳定性。
因此在终端应用中,质量流量控制器的可靠性多半是许多半导体工艺的基础。MFC 的失准或制造缺陷会导致晶圆产量下降,甚至会损坏整个晶圆。采用IST流量传感器则可以为MFC产品带来如下优势:
1、足够宽的测量范围使得在许多场景中不必使用旁路,而进行直接测量,提高测量的准确性。
2、薄膜技术带来极高的响应灵敏度,在一般测量状态就可以瞬间响应压力浪涌。
3、小巧的体积与简单的安装方式,给气路结构优化创造更大的空间。
精密气体流量计-厚礼博精密仪器-精密气体流量计厂家由厚礼博精密仪器(北京)有限公司提供。“热式质量流量控制器,显示仪,电磁截止阀,电磁调节阀,过滤器”选择厚礼博精密仪器(北京)有限公司,公司位于:北京市顺义区后沙峪镇西兴路3号院1号楼,多年来,厚礼博坚持为客户提供好的服务,联系人:刘彦燕。欢迎广大新老客户来电,来函,亲临指导,洽谈业务。厚礼博期待成为您的长期合作伙伴!