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VARIAN TV301 NAV 具有涡轮分子泵的集成系统，具有相关的控制器，适用于高真空和超高真空应用。
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电压的不稳定，特别对磁浮类的分子泵损伤较大。前级泵的效率差;我们知道腔体内的大部分气体首先是通过前级泵抽出，真空达到一定程度分子泵才会启动。如果前级泵的效率差，分子泵就会比较吃力，启动速度慢，抽气时间长，电流高，分子泵温度升高等。
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复合式分子泵的形式很多，按结构分，主要有两种：一种是涡轮叶片与盘式牵引泵的串联组合；另一种是涡轮叶片与筒式牵引泵的串联组合。涡轮级主要用来提高泵的抽速，一般采用有利于提高抽速的叶片形状，Agilent真空泵配件价格，级数在l0级以内。牵引级主要用来增加泵的压缩比，提高泵的出口压力。
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