氦质谱检漏主要领域：冶金——真空电炉；低温与压力容器——液氮和液氦储存罐、生物制品容器及各类压力容器；轻工产品——保温杯、太阳能集热管、饮料罐口等。氦质谱检漏主要领域：电力工业——高压开关、避雷器、发电厂冷凝器系统；电力工业——电子器件、半导体、传感器和积成电路；氦质谱检漏主要领域：原子能工业——气体扩散处理系统；高能物理研究院——及其配件；
我们应用此检漏技术对发电厂机组汽轮机进行了真空系统检漏，效果良好。应用氦质谱检漏仪对发电厂汽轮机真空系统进行检漏一般包括真 空法和吸法。本次对发电厂机组进行的真空系统检漏测试试验采用吸法。机组正常运行时，真空系统内部处于负压状态，空气通过漏点被吸入凝汽器，终通过水环真空泵抽出，经过气水分离器从排气口排至大气。测试前，将氦质谱检漏仪测试口与吸探头通过吸气线连接，并将吸探头装设在分离器排气口处，启动氦质谱检漏仪，待检漏仪经过自检程序启动完毕，即可进入试验待检状态。
氦质谱检漏仪是用示踪气体氦气的专门用于检漏的仪器，它性能稳定，灵敏度高，是真空检漏技术中较成熟的设备，使用比较普遍的检漏仪。为工厂作业人员的安全以及环境保护，氦质谱检漏仪成为化工管道检漏的的选择。氦质谱检漏设备因氦比空气轻，因此要注意检漏的顺序，检查顺序应依照由下而上，电力行业检漏厂， 由近而远的顺序进行。对检漏方法的要求：稳定性好，即可以在足够长时间内灵敏度；所用“示踪气体”在空气中含量低，无毒，不腐蚀零件；
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