




高温炉操作规程
1 准备工作a,检查电源线接触是否良好b,检查连接线是否正常c,检查冷却水是否正常d,检查密封性是否正常e, 准备所需工具:无尘纸、无水酒精、帆布手套、作业手套、口罩、耐高温手套、石墨推车、不锈钢托盘2 开炉a,双温区高温炉,打开主电源开关b, 向炉体充ya气至大气压,打开炉体前门,取下石墨盖板c, 将输送车开关打至 OUTd, 清炉 清理炉膛内壁、石墨件及保温材料上的污物3装料a,将石墨坩埚放置于输送车平台上,使用限位杆确定其位置,依次装入硅料。b、拔出限位杆,输送车开关打至 IN,依次操作 UP - FORWARD - BACK - DOWN,将坩埚装入炉膛内,并确定输送车会到初始位置。c、装入石墨盖板,拧紧石墨螺栓,关紧炉门4 抽气a、检查炉门是否关紧,真空系统是否密封b、置 DP 按钮于 DP ON,打开干式真空泵,打开真空计开关 P1G1,打开干式真空泵 。阀门,开始抽气测试泄漏率,c、当压力表指示为 50Pa是关闭真空泵阀门(非真空泵)露铝≤1Pa/min,打开ya气阀门充ya气(20L/min)。加热 先打开水环泵 再按 RUN,开始工艺加热。冷却a、加热结束后,按工艺条件进行冷却。
高温炉修复工作: 1.打开进气口,为CO2和其他保护气体充气。 当气氛炉的压力表显示0.02~0.04MPa时,停止充气。 2.通过调查流速并将出口温度控制在40°Cgh。 3.定期检查每个终端的联系是否良好。 4,根据工艺设定温度,电加热,保温。 5.当炉温升高时,要始终注意压力,间歇地打开放气阀,使炉内压力小于0.1MPa。 此时,可以排出诸如胆汁的杂质。 6.高温炉的光亮退火。 当温度升高时,打开排气阀,然后填充保护气体。 流量从小到大增加。 当气氛炉中的压力为正时,所有阀门都关闭,并且应通过该过程测试该过程。 ,由熟练工人掌握。
高温炉产品特点
● 采用进口温控仪表,全新数字显示,数字设定的温度,智能控制输出,可减少视读和人为操作误差,大大提高工作效率。● 设有多种保护装置,提高了安全性及可靠性● 独立控制系统,方便维修更换● 炉体上开有排气孔(可根据用户要求增设气体保护进、排气空)● 可根据用户需要定做其他规格产品.各种非标管式炉、井式炉、箱式炉备:可根据用户需求定制各种规格异型加热装置,加热炉膛!

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