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机械部分对精度的影响：
安装精度。轴承的精度与结构精度。光学组建安装的精度。
例如，就轴承的结构而言，单轴承支撑结构的轴承偏差无法消除，而且经使用后偏差会更大，而双轴承结构或多支承结构，可有效降低单个轴承的偏差。
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莫尔条纹的变化规律
两片光栅相对移过一个栅距，莫尔条纹移过一个条纹距离。由于光的衍射与干涉作用，莫尔条纹的变化规律近似正(余)弦函数，变化周期数与光栅相对位移的栅距数同步。
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光栅尺使用中带来的精度影响：
输出电缆的抗干扰与信号延迟（较长距离或较快频率下）；
接收设备的响应与接收设备内部处理可能的误差。
光栅尺高速位移时的动态响应偏差。
常见的就是我们自己使用安装的方法与安装结果带来的偏差。
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