




广州潽拓光电科技有限公司——英福康氦气检漏仪保养
Inficon 英福康是家跨国公司,其真空计在欧洲瑞士边的一个小国:列支敦士敦生产,其氦质谱检漏仪在德国生产,英福康氦气检漏仪保养,
其大质谱等在美国生产。 另外,其在上海生产PGD400 真空显示器,在瑞士生产真空阀门,在罗马尼亚生产VGC
501, VGC502及 VGC503 等真空显示器
INFICON BPG400英福康真空规管电压20-28V,功率18W,适用于:解析工程,蒸发和涂覆系统,真空炉,镀膜设备,一般压力测试
应用
高真空测量
真空系统
工业镀膜设备
一般真空测量应用
通常,对低真空和高真空的测量不能用一种真空计来完成,而应采用复合真空计,应用较多的是电离与热偶式复合真 空计。它的测量范围为13.33--666.6×10-8Pa。热偶真空计测量(10-1--10-3)×133.32Pa的低真空;电离真空计测量 133.32×10-3--666.6×10-8Pa的高真空。复合真空计附有一个热偶规管、一个电离规管,分别接在真空系统上,通过旋钮可分别给两个规管加热,并选择使用。
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广州潽拓光电科技有限公司——英福康氦气检漏仪保养Inficon真空计 维修保养厂家
间接测量真空计 压力为10-1Pa时,作用在1cm2表面上力只有10-5N,显然测量这样小的力是困难的。但可根据低压下与气体压力有关的物理量的变化来间接测量压力的变化。
属于这类的真空计有:
(1)压缩式真空计:其原理是在U型管的基础上再应用波义耳定律,即将一定量待测压力的气体,经过等温压缩使之压力增加,以便用U型管真空计测量,然后用体积和压力的关系计算被测压力。Inficon真空计 维修保养厂家
(2)热传导真空计:利用低压下气体热传导与压力有关这一原理制成。常用的有电阻真空计和热偶真空计。
(3)热辐射真空计:利用低压下气体热辐射与压力有关原理。
(4)电离真空计:利用低压下气体分子被荷能粒子碰撞电离,产生的离子流随电力变化的原理。如:热阴极电离真空计、冷阴极电离真空计和放*性电离真空计等。
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氦质谱检漏真空压力法
真空压力法适用于那些行业?
真空压力法主要用于结构简单、压力不是特别高的密封产品,如电磁阀、高压充气管、推进剂储罐、天线、应答机、全星产品等。英福康真空计维修
真空压力法泄漏检测时,需要将被检产品整体放入真空密封室。真空密封室与辅助排气系统和检漏仪连接。被检测产品的充气接口通过连接管导出真空密封室,然后与氦源连接。当被检测产品表面有漏孔时,氦气通过漏孔进入真空密封室,然后进入氦质谱检漏仪,从而测量被检测产品的总泄漏率。英福康真空计维修
真空压力法的优缺点
真空压力法的优点是检测灵敏度高,可以实现任何工作压力的泄漏率检测,反映被检测到的真实泄漏状态。
真空压力法的缺点是泄漏检测系统复杂,真空密封室需要根据被检测产品的体积和形状进行设计。需要说明的是,在泄漏检测过程中,需要确保充气管接口无泄漏,或采用特殊的结构设计将所有充气管接口放置在真空密封室外。
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