





氦检漏系统主要用于检测真空设备或容器中的微量泄漏,以保证其密封性能。其中一种常用的方法是使用超声波法进行测量的原理。
具体来说:当声源(通常为20kHz)发出的超声信号进入被测试的物品后发生反射和折射现象返回给;如果存在微小泄露物时就会在物体表面形成驻留压力场,产生一个与该物体的温度、湿度以及大气压紧密相关的声音振荡频率即回音或者说是杂散噪声;通过测量这种由可听声组成的复合噪音的大小即可得知相应的漏洞大小。

氦质谱检漏仪是一种高灵敏度的气体检测仪器,主要用于测量真空系统中的微小泄漏。其原理是利用氦气作为工作流体在磁场中发生的质量分离来探测和定位系统的任何缺陷或损坏位置的设备之一。
该设备的优点包括高度敏感、快速响应时间和高分辨率等特性,适用于各种不同的应用领域,真空检漏设备,如航空航天、核能工程、石油化工等领域。同时它可以实时监控压力变化并给出指示信号以及可实现远距离移动检查表面无损时读数记录及数据处理管理等功能。

氦质谱检漏系统是一种高灵敏度的泄漏检测设备,其原理基于带电粒子在磁场中的偏转以及气体分子对电磁辐射的吸收。该系统的部件是氦离子源和质谱仪。
当需要检查的对象内部存在微小压力时,可以使用液态惰性气体作为示踪剂(例如:氦气),通过管道进入待测对象内并被稀释到很低浓度后从密封区域中逸出形成一定的背景放散率Rb。此时可以通过测量总释放量Ra来判断泄露是否发生,若Ra>Rb+ΔR且ΔR足够小时则认为发生了泄露[1]。
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