




储存高纯氩气的储罐啥材质合适?
储存高纯氩气的储罐材质选择至关重要。常见的有碳钢、不锈钢材质。碳钢成本较低,适用于大规模工业储存,但需做好内涂层防护,防止氩气腐蚀罐体,引发泄漏风险。不锈钢,如 304、316 不锈钢,耐腐蚀性强,能确保氩气长期储存纯度不受影响,常用于对纯度要求很高的电子等领域。另外,铝合金储罐也有应用,它重量轻、强度较高,便于运输与安装,在一些小型实验室或移动供气场景较为合适,不同材质依需求保障高纯氩气安全储存。
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高纯氩气在半导体行业的应用
半导体行业对高纯氩气依赖程度极高。在半导体芯片制造过程中,许多环节都需要在高纯氩气环境下进行。例如,在化学气相沉积工艺里,氩气作为载气,携带反应气体准确到达硅片表面,保障沉积过程的正确性与稳定性。
离子注入工序中,氩气用于形成离子束,对硅片进行掺杂,准确控制半导体材料的电学性能。在晶体生长时,氩气营造惰性氛围,防止硅晶体被氧化,确保晶体质量。高纯氩气为半导体制造提供了洁净、稳定的环境,有力推动了芯片制造技术的进步,保障了半导体产品的性能高与高可靠性。
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高纯氩气的制备方法
高纯氩气的制备方法主要包括深冷分馏法、合金吸气法和催化脱氧分子筛脱水结合合金吸气法。
深冷分馏法通过多级冷却和分离技术,从空气中提取高纯氩气,适用于大规模生产。
合金吸气法利用吸气剂吸收杂质,适用于高纯度要求的深度净化。
催化脱氧分子筛脱水结合合金吸气法则需要进行初级净化,再用吸气剂深度净化,适用于不同纯度等级的氩气制备。
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