由于每种原子都有自己的特征谱线，因此可以根据光谱来鉴别物质和确定它的化学组成．这种方法叫做光谱分析．做光谱分析时，可以利用发射光谱，也可以利用吸收光谱．这种方法的优点是非常灵敏而且迅速．某种元素在物质中的含量达10^-10(10的负10次方)克，就可以从光谱中发现它的特征谱线，因而能够把它检查出来．光谱分析在科学技术中有广泛的应用．例如，在检查半导体材料硅和锗是不是达到了高纯度的要求时，就要用到光谱分析．在历，光谱分析还帮助人们发现了许多新元素．
软件的算法。由于X荧光光谱仪的主要干扰是基体效应和元素间下吸收增应，为了降低或者消除这种干扰。软件的算法（包括谱处理技术，强度拟合方法，FP基本参数法，阿尔法理论系数法，经验系数法等）就显得尤为重要。光谱仪的售后和技术支持效率及服务。XRF（X-Ray Fluorescence-X射线荧光） 光谱仪是一种原子发射光谱仪。 在 XRF光谱仪 中，来自 X 射线光管主 X 射线光束的辐照会使荧光 X 射线的辐射呈现出样品中所存在元素的分散能量特征。
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