UV光解法利用UV光解净化设备发出的高能UV紫外线光束照射恶臭气体，裂解H2S、硫化物、VOC类、苯、、二的分子链结构，使有机或无机高分子恶臭化合物分子链，在高能紫外线光束照射下，降解转变成低分子化合物，如CO2、H2O等。利用高能UV光束裂解恶臭气体中细菌的分子键，废气处理装置，破坏细菌的核酸（DNA），再通过臭氧进行氧化反应，达到脱臭及杀灭细菌的目的。 有的时候，废气处理设备，单一的工艺不能的解决，会用到组合工艺，比如催化燃烧+UV光解，催化燃烧+等离子。具体的工艺操作还需要根据现场的实际探查结果为准。
活性炭吸附法治理VOCs的工艺 活性炭吸附法治理VOCs工艺技术有变压吸附(pressure swingadsorption，PSA)、变温吸附(thermal swing adsorption，TSA)，两者联用的变温- 变压吸附(thermalpressure swing adsorption，TPSA)和变电吸附(electric swing adsorption，废气处理工程，ESA)。
活性炭吸附VOCs的影响因素
吸附是指当气体与多孔固体材料接触时，气体物质中某一物质或多种物质在固体材料的内、外表面处产生积蓄的现象。多孔固体材料称为吸附剂，被吸附积蓄的物质称为吸附质。常用的吸附剂有：活性炭、活性硅胶、氧化铝等。气体混合物能否通过吸附分离成功，主要取决于吸附剂对吸附质的吸附效果，因此吸附剂的选择是确定吸附操作的首要问题。活性炭作为目前较常用的VOCs吸附剂，废气处理，主要有以下特点。 (1) 活性炭具有孔径分布广泛、孔隙率高和比表面积大的优点。(2)活性炭的机械性能高、化学性质稳定，能在较大的pH 范围内使用。(3)活性炭具有一定的催化活性。(4) 活性炭的疏水性使其对挥发性有机化合物有极强的吸附性，并且能在较大的湿度下依然保持较强吸附性能。
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