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分子泵涡轮分子泵主要分为立式和卧式两种。卧式涡轮分子泵,这种结构的分子泵是双轴流的,吸气口在两组抽气单元的中央,气体吸入后,分别被左右两侧的叶列组合抽走。立式涡轮分子泵,泵由泵壳、涡轮叶列组件和电动机等组成。现代涡轮分子泵转子和定子之间的间隙较大,通常在 lmm 左右,因此泵工作时很安全。
涡轮分子泵特点: 1、清洁,无油蒸汽返流; 2、使用方便; 3气体输送能力强; 4、适于超高真空应用; 5、高压力下性能良好; 6、循环的时间短;; 7、正常使用时间长; 8、设备费用高; 9、对颗粒物或沉积物敏感; 10、噪音与振动; 11、破碎问题; 12、暴露大气易引起事故; 综上所述,涡轮分子泵的特点很多,但是随着我国机械、、电子、化工等领域的高速发展,涡轮分子泵想要扩大它的市场占有率,其需要克服的难题还有很多。这些不仅仅需要人士的专研,同时也需要各界的共同努力,对涡轮分子泵特点的进一步研究,相信在未来是个值得突破的课题。

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Leybold早将陶瓷轴承应用于分子泵,其rotor设计充分考虑到加工的应力,转动的叶片和定子之间只有0.1毫米。制造公差达到微米级。在转速高达每分钟7.2万转时,叶片端部的速度接近超音速。
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