入射激光到达分光镜后分成反射光和透射光，并分别由固定反射镜和可动反射镜反射后在分光镜处汇合成相干光束。两束光的路程之差会影响合成光的振幅，终影响光强。其利用这一原理使激光束产生明暗相间的干涉条纹，由光电转换器接收并转换为电信号，经处理后由光电计数器计数，从而实现对位移量的检测。由于激光的波长极短，手持激光测距仪什么牌子好，特别是激光的单色性好且波长值很准确，因此，用激光干涉法测距的精度非常高。3、三角测距法将物面与光源及接收系统摆放在三个点，构成三角形光路，即为三角测距法。
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