等离子体是一种聚集态物质，当外加电压达到气体的放电电压时，废气治理工艺，气体被击穿产生包括电子、各种离子原子和自由基在内的混合体，其所拥有的高能电子同烟气中的分子碰撞时，发生一系列基元反应，并在反应过程中产生多种活性自由基和生态氧，即臭氧分解而产生的原子氧，这些强氧化性的活性氧迅速与烟气中的有机分子碰撞并将其破坏，或者高能活性氧空气中的氧分子而产生二次活性氧，二次活性氧与烟气中的有机分子产生一系列链式反应，并利用自身反应产生的能量维系氧化反应，进一步氧化有机物质，终生成无机氧化物和水，体积小，能耗低，运行稳定，操作简单，不产生二次污染，对有机废气处理效率一般为80%。
光催化氧化
光催化氧化技术：通过采用高能高臭氧紫外线光束让空气中的氧分子产生游离氧进而产生臭氧。臭氧氧化作用很强，氧在光的作用下可产生大量的新生态氢、活性氧和羟基氧等活性基团，从而终转化为CO2和H2O等，终去除恶臭。由于光的平均能量在1eV～7eV的水平，適当控制反应条件就可实现较难实现的化学反应变得十分快速，终增加反应器工作效率能力。
催化剂的类型及性能要求： 目前国内外主要研究的催化剂基本上有两大类:一类为催化剂，这类催化剂的活性和稳定性好，技术较为成熟，但由于价格高，资源短缺，所以，未能将其产业化;另一类为非金属催化剂，主要集中在过渡金属氧化物催化剂、复氧化物催化剂(钙钛型复氧化物和尖晶石型复氧化物)的研究方面。目前，寻找来源丰富、价格低廉、性能相当的非催化剂，以替代传统的催化剂用于催化燃烧过程已成为了研究的一个重要方向。
活性炭孔隙分布对VOCs 吸附效果的分析
活性炭不同孔径的孔隙具有完全不同的吸附机理。其中微孔(<2nm)吸附基本符合微孔填充理论，即固体吸附剂表面存在位势场，邻近的VOCs 分子在场的作用下吸附在吸附剂表面;过渡孔(2nm 至100nm)吸附时除单分子层和多分子层吸附外，更主要的是通过毛细凝聚机理产生容积填充吸附;大孔(>100nm)吸附主要是多分子层吸附，符合BET 理论。此外，活性炭的孔径要和VOCs 的分子大小相匹配才能被有效吸附。在分子大小相匹配的情况下，活性炭孔径的分布越均匀、孔的形状越规则，则活性炭吸附效果越好。
通过活性炭对甲醛气体的吸附试验，证明吸附效果与活性炭孔结构和甲醛分子的表面官能团密切相关：活性炭的微孔比表面积越大，其表面能越高，吸附效果越明显;若活性炭过渡孔比表面积大，则吸附达到平衡的时间短。
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