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Leybold Turbovac TW 701复合分子泵,对应的分子泵控制器为:
Leybold Turbo Drive 700 with Prrofibus
Leybold早将陶瓷轴承应用于分子泵,莱宝分子泵真空维修店,其rotor设计充分考虑到加工的应力,转动的叶片和定子之间只有
0.1毫米。制造公差达到微米级。在转速高达每分钟7.2万转时,叶片端部的速度接近超音速。
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工作原理
涡轮分子泵转子是一个带叶片的涡轮,快速旋转的叶片将动量传输给气体分子,莱宝分子泵真空权限调试,将起初无方向性的热运动变成有定向运动。
涡轮分子泵的抽气过程就是使气体分子从进气口法兰定向运动到前级真空口。
在分子流范围——也就是在低于10-3mbar(0.75x 10-3Torr)的压强时,气体分子的平均自由行程大于转子与定子叶片之间的间距(典型为十分之零点几毫米),分子主要与转子叶片碰撞,所以
抽气过程非常。
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