在集成电路、半导体和电真空器件制造中用作保护气和运载气，高纯氦价格，化学气相淀积时的载气，液体扩散源的携带气，在高温扩散炉中用作器件的保护气。高纯氮在外延、光刻、清洗和蒸发等工序中，作为置换、干燥、贮存和输送用气体。显像管制造中要求氮气纯度为99.99%以上。在航天技术中，荆门沙洋高纯氦，液氢加注系统需要先用高纯氮置换，再用高纯氦置换。
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焊接用气体主要是指焊接或切割时所使用的各种气体。根据气体在工作过程中作用，焊接用气体可分为保护气体和气焊、切割用气体两大类。(1)保护气体：保护气体是指气体保护焊时所用的起保护作用的气体，石化用高纯氦，主要包括二氧化碳(CO2)，氩气(Ar)，氦气(He)，氧气(O2)、氮气(N2)、氢气(H2)及其混合气体(如Ar+He、Ar+CO2、Ar+CO2+O2等)。国际焊接学会指出，保护气体统一按氧化势进行分类：即惰性气体或还原性气体(i类)、弱氧化性气体(m1类)、中等氧化性气体(m2类)、强氧化性气体(m3和c类)。
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