如果增加一些附加装置，还可以提取出ya、等在空气中含量很少的稀有惰性气体。由空气分离装置产出的氧气，经过压缩机的压缩，然后将压缩氧气装入高压钢瓶贮存，或通过管道直接输送到工厂、车间使用。
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基于它的红外线吸收光谱，1999年，研究人员推断此相态是O4分子的晶体。但在2006年，X射线晶体学表明这个被称作ε氧或红氧的稳定相态实为O8。此结构在理论上不曾被预测：由四个O2分子组成的菱形的O8原子簇。
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膜法分离空气利用的是渗透原理，即氮气和氧气在非多孔高分子膜内的扩散速率不同。当氮气和氧气吸附在高分子膜表面时，冶金氧气生产厂家，由于膜两侧存在着浓度梯度，使气体扩散并通过高分子膜，接着在膜的另一侧解吸。
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