广州潽拓光电科技有限公司_安捷伦涡轮分子泵维修
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真空泵排气孔喷油有两种原因所致：??
1、真空加油过量，导致进口真空泵在工作时真空油随排气口喷出。??
2、密封溶剂太大，选用的真空泵抽气速率太小。
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VARIAN TV301 NAV 具有涡轮分子泵的集成系统，具有相关的控制器，适用于高真空和超高真空应用。
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电压的不稳定，特别对磁浮类的分子泵损伤较大。前级泵的效率差;我们知道腔体内的大部分气体首先是通过前级泵抽出，真空达到一定程度分子泵才会启动。如果前级泵的效率差，分子泵就会比较吃力，启动速度慢，安捷伦涡轮分子泵维修，抽气时间长，电流高，分子泵温度升高等。
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高真空泵可将腔室或系统抽空到高机械泵（10-3至10-8托）或极高机械泵（<10-8托）的压力范围内。机械泵和文丘里管发生器在中等偏上至粗机械泵范围内运行
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