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膜盒真空计的另一种形式,是差分应变管式真空计。其参考室已不再是由部分玻璃组成的密封室,而是改由与应变管完全对称的密封应变管,管内压力维持在0.Pa 以下,作为参考压力。测量时由于压力差,使齿轮转动装置带动指针偏转。在传动装置中串有齿条,这样便可指示出微小的压力变化。这种真空计的量程一般有 10~2700100~13500100~10Pa 三种。
瑞士INFICON的MPG400冷阴极和皮拉尼复合真空计有MPG400和MPG402个型号,测量范围从5x10-9毫巴至大气压(3.8 x10-9乇至大气压)。1torr到1000torr4种可选压力单位(乇,毫,毫巴,PA)数字信号处理D-SUB15针CE认证维护自由技术规范。将两种测量方式组合在一个具有对数模拟输出的小型单元内,大大地降低了安装,设置和集成的复杂性。
真空计(Vacuum Gauge),c真空表,是测量真空度或气压的仪器。一般是利用不同气压下气体的某种物理效应的变化进压的测量。在科研和工业生产中广泛使用。
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结果表明,随着螺旋升角和牵引槽深度增大,氦质谱检漏仪的灵敏度均先提高后下降;增大转子与定子间隙,不利于氦质谱检漏仪灵敏度的提高;选取螺旋升角为22°、牵引槽深为 2.5 mm、转子与定子间隙为 0.3 mm时,氦质谱检漏仪具有较高的灵敏度,同时复合分子泵牵引级性能*靠且结构安全。

除此之外,HLD 6000新型冷媒检漏仪还具有轻松融入本地网络及低维护成本的优势。该产品设有用于测量数据跟踪、存储设置和快速软件更新的USB端口,使用者可以随时进行收集、存储和更新数据等功能。通过选件I/O模块或现场总线模块,可方便的接入本地网络,轻松集成到泄漏检测系统中。在开发HLD 6000时,低维护成本就是考虑的重点,在主装置底部配备参考漏孔“修理厂”,英福康涡轮分子泵维修,即新设计的COOL-Check托架让快速更换参考漏孔成为可能,而采用无磨损的传感器则*大化保障用户的正常运行时间。冷媒检漏仪维修

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在工业生产和科学实验中,往往希望真空装置的真空室中的真空度能按真空工艺的要求,维持在某一给定值上。这种要求通常可以通过手动调节真空微调阀来完成,倘若希望自动地完成压力调节,就要借助于压力控制仪来完成。英福康真空计保养

如用一附加的热偶测量热丝的温度,则这种规头称为热偶规;如利用热丝本身的电阻值来反映温度,则称电阻规或皮喇尼规。气体热传导只在低压强 (P<100帕)下随压强变化,而低至10-1帕时气体热传导又不是主要的散热方式,因此热传导真空计主要用于100~10-1帕范围,采取特殊措施可扩大测量范围。热传导真空计的指示不但和气体种类有关,而且易受热丝表面污染、环境温度等因素影响,故准确度不高,只作粗略的真空指示用。英福康真空计保养

氦质谱检漏技术是真空检漏领域不可或缺的技术,利用该技术检漏*率高,操作方便,仪器反应灵敏,精度高,不易受其他气体干扰,上述方法在检漏技术领域中经常使用,包括从小泄漏检测到大泄漏检测,从确定泄漏检测到确定泄漏率泄漏检测,更quan面地列出各种泄漏检测方法,相信在工程实际应用中具有良好的参考价值。
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