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罗茨真空泵（增压型）必须和前级真空泵（单级旋片真空泵，油封液环真空系统，等干式粗低真空泵串联使用如：双级或多级爪型泵，或直排大气的预冷型罗茨泵等）真空涡轮分子泵维修
罗茨真空系统将获得比前级泵更髙的抽速和更低的极限压力。
正确的前级泵的选择取决于不同的应用，主要的因素有以下几个：
1. 所需的抽速和和极限压力，真空涡轮分子泵维修
2. 被抽气体的性质（是否可凝性，*燃*爆，腐蚀性等）
3. 真空系统的清洁度
随着真空应用的发展，真空泵的种类已发展了很多种，其抽速从每秒零点几升到每秒几十万、数百万升。随着真空技术在生产和科学研究领域中对其应用压强范围的要求越来越宽，大多需要由几种真空泵组成真空抽气系统共同抽气后才能满足生产和科学研究过程的要求，由于真空应用部门所涉及的工作压力的范围很宽，因此任何一种类型的真空泵都不可能完全适用于所有的工作压力范围，只能根据不同的工作压力范围和不同的工作要求，使用不同类型的真空泵。为了使用方便和各种真空工艺过程的需要，有时将各种真空泵按其性能要求组合起来，以机组型式应用。真空涡轮分子泵维修
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多级罗茨真空泵是干式罗茨真空泵中的一种，在美日等国家较多的应用与半导体及化工行业。它的“多级”是相对于传统的一个转子的“单级”罗茨真空泵而言，形式上多个转子串联，中间由中间壁隔离形成多个相对独立的泵腔，各级泵腔通过各级的进气口与排气口相连形成气流通道。各级转子的直径和形状是相同的，但是宽度有可能相同也可能不同。不同的话高压侧方会变窄。真空机组维修
是真空机组的抽气能力不够还是漏率高；或者两者兼而有之，需要耐心观察和记录，从中找出故障原因，比如，抽空时间相同，而真空度偏低，这时候，关闭高压阀，如真空计指针很快下降，多数情况是真空室漏了，应先查出漏点。如真空计指针下降很慢，多数情况是真空机组抽气能力不够，这时可将重点放到查找真空泵及阀门的问题上，看是哪里出现了泄漏，或是扩散泵油被污染了，氧化了等；或是前级管路密封不好，泵油不足；或是泵有油乳化，轴封漏油，阀片损坏等故障。真空机组维修
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氦质谱检漏仪分子泵故障及处理
1、仪器界面上TMP显示“0”即分子泵没有工作
有可能是前级压力过高(该分子泵的启动压力为200Pa)导致分子泵无法启动。检查导致压力过高的项目有：真空规管是否有问题，分子泵出口是否打开，机械泵油是否太脏或机械泵是否转动，系统是否有泄漏。也有可能是分子泵的叶片或转子被损害，可自行用工具拨动叶片，判断其能否转动。
分子泵加速指示灯不亮
电路板上的保险丝烧断，更换保险丝或检查是否有短路现象。
分子泵故障灯亮
检查电路板设置开关是否处于R位置，瓦里安涡轮分子泵修理，此时应该在N位置。检查风扇是否停止，如风扇正常，则可能为氦质谱检漏仪分子泵电源故障。
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