




气体激光(Gaseous laser),以气体为自动介质的激光中,包含中性原子激光、离子气体激光、金属蒸汽激光、分子气体激光、准分子激光。气体激光器的重要特点之一,激光工作物质是混合气或单一纯气体。由于激光混合气中组分气的纯度直接影响激光的性能,特别是气体中氧、水、碳氢化合物等杂质的存在将导致激光输出功率在镜(面)和电极上的耗损,激光混合气公司,还会引起激光发射的不稳定。因此,对激光混合气组分的纯度有着特殊要求,包装混合气的钢瓶,充装前也必须进行干燥处理,防止污染混合气。如果将氦(He)氖(Ne)激光作为代气体激光,二氧化碳激光是第二代气体激光,在半导体制造领域将大量使用的氟化氪(KrF)激光,可称为第三代激光。Au,Cu,激光混合气,Ba,Sn,Pb,Zn等金属的蒸汽,都是中性原子激光的自动介质。它们的蒸汽中,常混入低压力的惰性气体,以提高放电效率。

分子气体:二氧化碳激光和氮气激光是常见的分子气体激光,其主要激光光分属红外线(10,640 nm)及紫外线(337 nm)。生物组织中的水分会吸收它的10,640 nm激光光,所以能用于手术,所需激光光功率约为50W。此外,非金属材料的加工、金属表面的热处理、光谱学及光化学研讨、环境遥测、测距、激起其他激光、发生离子体(俗称电浆;Plasma)等,也都可用二氧化碳激光来进行。重要的准分子激光,以稀有气体的卤化物为自动介质,如ArF,高纯激光混合气, KrF, XeF, KrCl, XeCl等。因为受激态常以星号(*)上标表示,所以有些数据上写成ArF*等。准分子不会天然出现,而是在气体混合物中放电时形成的。激光混合气中组分气的纯度直接影响激光的性能,特别是气体中氧、水、碳氢化合物等杂质的存在将导致激光输出功率在镜(面)和电极上的耗损,激光混合气定制,还会引起激光发射的不稳定。

铜蒸汽激光产品可发生100W以上的绿光(511 nm)及黄光(578 nm),金蒸汽激光则可得数十瓦的红光 (628 nm)。这两种激光有很多用途,例如血紫质衍生物(Hemoporphyrin derivative)吸收光谱的峰值约为628 nm,而癌细胞能吸收此物质。此物质受到628 nm的激光光照耀后会分化,发生可癌细胞的物质。不过,铜蒸汽激光激起染料激光,也可得到这种光,而不必依托金蒸汽激光。此外,578 nm的激光能够除去某些胎记,作用优于用氩离子激光。激光切割机用的激光混合气体,二维激光切割机床用的四元激光混合气体,主要用于钢材的钣金加工。激光混合气中组分气的纯度直接影响激光的性能,特别是气体中氧、水、碳氢化合物等杂质的存在将导致激光输出功率在镜(面)和电极上的耗损,还会引起激光发射的不稳定。

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