广州潽拓光电科技-普发进口分子泵控制器

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广州潽拓光电——德国普发PFEIFFER MVP020-3DC隔膜泵维修

维修德国普发pfeiffer MVP系列隔膜泵：

MVP 015-2

MVP 015-4

MVP 020-3

MVP 040-2

MVP 070-3

MVP 160-3

MVP 070-3 C

MVP 160-3 C

成功维修德国普发PFEIFFER MVP020-3DC隔膜泵实拍图

成功维修德国普发PFEIFFER MVP020-3DC隔膜泵实拍图

    本公司于光盘行业，半导体行业，真空镀膜业，光磁媒体业，普发进口分子泵控制器维修服务， 薄膜太阳能行业及科研行业所用的高真空设备提供维修和备件销售工作，尤擅长维修各类分子泵和分子泵驱动器，普发进口分子泵控制器销售中心，高真空探头及其驱动器，AE/射频电源维修。是国内首*使用动平衡调整回复原厂测试服务维修公司，也是国内目前维修时效快的公司.应客户要求，于2016年在广州设立维修办事处，从事客户服务，对各类分子泵和分子泵驱动器，高真空探头及其驱动器进行维修。

广州潽拓光电——维修Pfeiffer Hipace 400涡轮分子泵（PUTUOVAC VACUUM）

   涡轮分子泵是利用高速旋转的动叶轮将动量传给气体分子，使气体产生定向流动而抽气的真空泵。涡轮分子泵的优点是启动快，能抗各种射线的照射，耐大气冲击，无气体存储和解吸效应，无油蒸气污染或污染很少，能获得清洁的超高真空。涡轮分子泵广泛用于高能加qi、可控热核反应装置、重粒子加速qi以及真空镀膜等需要获得高真空度制造工艺中。

Pfeiffer Hipace 400 Turbo Pump是德国普发真空新一代的涡轮分子泵，Pfeiffer Vacuum Hipace 400 有三种口径，分别为DN100 ISO-K，

DN100 CF-F 及DN100 ISO-F，Pfeiffer Hipace 400 TurboPump对应的转速为49200rpm，Pfeiffer Hipace 400 TurboPump

对应的驱动器多数为Pfeiffer TC400。

  下图为Pfeiffer Hipace 400 Turbo Pump DN100  ISO-K with TC400 维修 实拍图片：

我司从事机电自动化，光电存储媒体，半导体，医liao，太阳能电池板，玻璃镀膜，科学研究所等真空镀膜设备维修，销售，设计，开发及系统工程，软件开发，leybold，Pfeiffer，Alcatel，Agilent(Varian)，普发进口分子泵控制器，BOC Edwards，Osaka，ULVAC，Shimadzu等分子泵，真空泵，真空计维修保养/销售等业务。

广州潽拓——维修PFEIFFER DUO 3

双级旋片泵 DUO 2.5/DUO 3 工作原理

旋片式真空泵是油密封的旋转式排量泵。泵系统包括一个壳 体 (1)、一个偏心地

安装的转子 (2)、在离心力和弹力作用下 径向移动的叶片 (3) 以及入口和出口

(4)。入口阀（如配置）被设计为真空安全阀，该阀在操作过程中始终处于打开状 态。

工作室 (5) 位于壳体内，并受到定子、转子和叶片的限 制。偏心安装的转子和叶

片将工作室分为具有可变容积的两 个独立舱。当转子转动时，气体流入扩大的吸入

室直至其被 第二个叶片封住。封闭气体然后进行压缩，直到出口阀冲破 大气压力

而开启。出口阀是油封的。当阀打开时，少量的油进入吸入室，不仅能够对其进行

润 滑，而且能够将叶片与壳体（定子）密封开来。

旋片式真空泵的工作原理

在气镇操作的情况下，一个孔向外侧打开，让气体流入前侧 的密封吸入室。因此，

在压缩抽吸阶段，在相对低的压缩下 达到打开出口阀所需的压力。这使得蒸汽开始

冷凝前排出置 换的气体/蒸汽混合物。在操作过程使用气镇达到的终压力 高于无

气镇操作所达到的压力。

工作液、油

泵油，也称为工作液，在旋片式真空泵中泵油有多个任务要 执行。它润滑所有移动

部件，填充出口阀下的固定空间以及 缩小入口和出口之间的间隙。它压缩叶片和工

作室之间的间 隙，此外还通过热传递确保温度平衡。

多级泵

旋片式真空泵是内置的单级和两极版。二极泵比单级泵实现 相对更低的极限压力。

此外，气镇对极限压力的影响较低， 因为气镇仅允许在高压力级使用。

真空安全阀

根据所涉及的泵类型，旋片式真空泵可能配备真空安全阀。 真空安全阀在有意或意

外停顿的情况下将泵与真空室隔离， 并使用置换气体对泵系统进行排气，防止油液

上升到真空室 中。在开启泵后，一旦泵中的压力已达到真空室中的近似压 力，它

稍作延迟就打开。