




高温炉修复工作: 1.打开进气口,为CO2和其他保护气体充气。 当气氛炉的压力表显示0.02~0.04MPa时,停止充气。 2.通过调查流速并将出口温度控制在40°Cgh。 3.定期检查每个终端的联系是否良好。 4,根据工艺设定温度,电加热,保温。 5.当炉温升高时,要始终注意压力,间歇地打开放气阀,使炉内压力小于0.1MPa。 此时,可以排出诸如胆汁的杂质。 6.高温炉的光亮退火。 当温度升高时,箱式高温炉,打开排气阀,然后填充保护气体。 流量从小到大增加。 当气氛炉中的压力为正时,所有阀门都关闭,并且应通过该过程测试该过程。 ,由熟练工人掌握。

正确使用箱式炉维修规范操作,较高温度1200℃不能长时间使用,避免过热,过载运行,严禁防止高温突然升高和断电淬火,以免损坏炉子和电热丝。室内使用,环境温度为-10~40°C,周围环境不含导电灰尘,易i燃易i爆物品和气体,以及严重损坏金属的腐蚀性气体,环境的相对湿度不超过85%RH,没有振动和颠簸定期检查电路系统连接的接触是否良好。

高温炉操作规程
1 准备工作a,检查电源线接触是否良好b,检查连接线是否正常c,检查冷却水是否正常d,检查密封性是否正常e, 准备所需工具:无尘纸、无水酒精、帆布手套、作业手套、口罩、耐高温手套、石墨推车、不锈钢托盘2 开炉a,打开主电源开关b, 向炉体充ya气至大气压,打开炉体前门,取下石墨盖板c, 将输送车开关打至 OUTd, 清炉 清理炉膛内壁、石墨件及保温材料上的污物3装料a,将石墨坩埚放置于输送车平台上,使用限位杆确定其位置,依次装入硅料。b、拔出限位杆,输送车开关打至 IN,依次操作 UP - FORWARD - BACK - DOWN,将坩埚装入炉膛内,并确定输送车会到初始位置。c、装入石墨盖板,拧紧石墨螺栓,关紧炉门4 抽气a、检查炉门是否关紧,真空系统是否密封b、置 DP 按钮于 DP ON,打开干式真空泵,打开真空计开关 P1G1,打开干式真空泵 。阀门,开始抽气测试泄漏率,c、当压力表指示为 50Pa是关闭真空泵阀门(非真空泵)露铝≤1Pa/min,打开ya气阀门充ya气(20L/min)。加热 先打开水环泵 再按 RUN,开始工艺加热。冷却a、加热结束后,按工艺条件进行冷却。

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