电子级硫酸又称高纯硫酸、超纯硫酸,属于超净高纯试剂,是一种微电子技术发展过程中不可缺少的关键基础化学试剂 [14]。电子级硫酸广泛应用于半导体、超大规模集成电路的装配和加工过程,是芯片制造工艺中用量大的电子化学品,主要用于去除晶圆片上残留的金属和有机物杂质,对产品的质量要求高,硫酸,其中的金属离子含量须达到10-12数量级。在现阶段,电子级硫酸的生产技术被德国、日本、美国等国家垄断,严重制约着我国芯片产业的发展,是主要“卡脖子”产品之一
硫酸是一种无机化合物,化学式是H2SO4,是硫的重要的含氧酸。纯净的硫酸为无色油状液体,10.36℃时结晶。通常使用的是它的各种不同浓度的水溶液,沸点338℃,相对密度1.84 [1]。硫酸是一种无机强酸,能和绝大多数金属发生反应。高浓度的硫酸有强烈吸水性,可用作脱水剂,硫酸现货出售,碳化木材、纸张、棉麻织物及生物皮肉等含碳水化合物的物质。与水混合时,亦会放出大量热能。其具有强烈的腐蚀性和氧化性,故需谨慎使用。硫酸是一种重要的工业原料,被称作“化学工业”,可用于制造肥料、、、颜料、洗涤剂、蓄电池等,也广泛应用于净化石油、金属冶炼以及染料等工业中。常用作化学试剂,在有机合成中可用作脱水剂和磺化剂。
硫酸是二元强酸,可以与金属氧化物反应,硫酸供应商,可用于表面除锈。在钢铁工业和金属机械加工之前,都会用硫酸清除金属制件表面的氧化物。除锈时需加入缓蚀剂并注意控制反应温度,防止工件内含金属与硫酸反应而被进一步损坏[23][24]。用过的酸通常使用废酸再生(SAR)装置回收。这些工厂将废酸与、炼厂气、燃料油或其他燃料来源一起燃烧。燃烧过程产生气态(SO?)和(SO?),然后用来制造“新”硫酸。
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