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磁控溅射原理：在被溅射的靶极(阴极)与阳极之间加一个正交磁场和电场，溅射靶材在高真空室中充入所需要的惰性气体(通常为Ar气)，纯银导电辊回收，磁铁在靶材料表面形成250～350高斯的磁场，同高压电场组成正交电磁场。

在电场的作用下，Ar气电离成正离子和电子，靶上加有一定的负高压，从靶极发出的电子受磁场的作用与工作气体的电离几率增大，在阴极附近形成高密度的等离子体，Ar离子在洛仑兹力的作用下加速飞向靶面，以很高的速度轰击靶面，使靶上被溅射出来的原子遵循动量转换原理以较高的动能脱离靶面飞向基片淀积成膜。

复合材料属金属基复合材料，具有与相似的特性，如导电、导热性好，、抗腐蚀等。按照非相的形态和分布，可以分为：层状复合材料、弥散强化复合材料、颗粒增强责金属复合材料和纤维复合材料四类。主要用于电子电器工业作电接点材料，电化学工业作电极材料，玻璃、玻纤工业作坩埚、漏板材料，以及实验用坩埚器皿材料等。复合材料兼备其组成相的特性，因而具有优良的综合性能。其使用不仅具有重大的技术意义，而且，由于明显降低用量而具有巨大的经济意义。

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