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Agilent-tv81-m安捷伦分子泵维修
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真空泵的分类：
按工作原理分类：
1、气体输送泵，包括变容真空泵、动量传输泵；
2、气体捕集泵，包括吸附泵、吸气剂泵、吸气剂离子泵、低温泵。
按真空度分类：
1、粗真空度；
2、高真空度，包括滑阀式真空泵、旋片式真空泵、罗茨真空泵；
3、超高真空度。
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在Agilent TV-301的正常运行过程中，为电动机提供了933 Hz的54 Vac三相电压。为了将启动过程中的损耗降至zui低，频率会根据具有较高初始电压/频率比的斜坡而增加。泵可以是水冷式或风冷式：第yi种情况下，安捷伦分子泵控制器报警，客户可以使用泵体上的zhuan用通道，第二种情况下，可以使用外部可选风扇。热敏电阻传感器安装在上轴承附近，以防止泵过热。
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高真空泵可将腔室或系统抽空到高机械泵（10-3至10-8托）或极高机械泵（<10-8托）的压力范围内。机械泵和文丘里管发生器在中等偏上至粗机械泵范围内运行
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