真空检漏的具体方法为了方便说明真空检漏方法，我们以真空炉为例进行真空检漏。真空炉主要由机械泵、罗茨泵、扩散泵、前级管路、炉体等几部分组成。真空炉的生产中为常见问题是极限压力合格，而升压率不合格，或者是两者都不合格，比较少见的是升压率合格但极限压力不合格。(1)极限压力合格，升压率不合格极限压力合格说明设备没有明显漏点，家用空调检漏，且真空系统的抽气性能正常。升压率不合格，主要原因是从粗抽阀到炉体有-些较小的漏点，通常在1x10-9~9.9x104pa.m3/s之间。
我们应用此检漏技术对发电厂机组汽轮机进行了真空系统检漏，效果良好。应用氦质谱检漏仪对发电厂汽轮机真空系统进行检漏一般包括真 空法和吸法。本次对发电厂机组进行的真空系统检漏测试试验采用吸法。机组正常运行时，真空系统内部处于负压状态，空气通过漏点被吸入凝汽器，终通过水环真空泵抽出，经过气水分离器从排气口排至大气。测试前，将氦质谱检漏仪测试口与吸探头通过吸气线连接，并将吸探头装设在分离器排气口处，启动氦质谱检漏仪，待检漏仪经过自检程序启动完毕，即可进入试验待检状态。
氦质谱检漏仪为气体工业名词术语，用氦气或者氢气作示漏气体，以气体分析仪检测氦气而进行检漏的质谱仪。一般检漏都采用氦气(He)作为示漏气体，但也有用氢气(H)作为示漏气体的，考虑到它的化学性质及危险性，在应用中较少使用，所以实际大部分检漏使用的都是氦气。氦气检漏仪特有的清氦系统，快速有效地清除超标的氦本底，保证检测的稳定性和准确性；实时监测氦气压力和浓度，保证了工件检测的精度；
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