用X射线照射试样时，试样可以被激发出各种波长的荧光X射线，需要把混合的X射线按波长（或能量）分开，分别测量不同波长（或能量）的X射线的强度，以进行定性和定量分析，为此使用的仪器叫X射线荧光光谱仪。
XRF光谱仪选购要点：
1.探测器的类别，英飞思，不同型号的探测器比如正比计数盒，Si-pin， SDD和FSDD的表现差异非常大，价格也相差明现。
2.光管的选型（功率，靶材，端窗或者侧窗，玻璃还是铍窗窗口，稳定性）
由于每种原子都有自己的特征谱线，因此可以根据光谱来鉴别物质和确定它的化学组成．这种方法叫做光谱分析．做光谱分析时，可以利用发射光谱，也可以利用吸收光谱．这种方法的优点是非常灵敏而且迅速．某种元素在物质中的含量达10^-10(10的负10次方)克，就可以从光谱中发现它的特征谱线，因而能够把它检查出来．光谱分析在科学技术中有广泛的应用．例如，在检查半导体材料硅和锗是不是达到了高纯度的要求时，就要用到光谱分析．在历，光谱分析还帮助人们发现了许多新元素．
分析原理能量色散X射线荧光分析法分析元素Si～U（Cd/Pb/Cr/Hg/Br高精度型）Na～U(任选：φ1.2mm/φ0.1mm切换方式型）
样品室气氛大气X射线管靶材Rh管电压50KV管电流1mAX射线照射径1/3/5mm防护
检测器硅SIPIN探测器光学图像观察倍率15倍
X射线荧光光谱仪（X-ray Fluorescence Spectrometer，简称：XRF光谱仪）X射线荧光光谱仪（X-ray Fluorescence Spectrometer，简称：XRF光谱仪）。
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