主要使用X射线束激发荧光辐射，次是在1928年由尔和施雷伯提出的。到了现在，该方法作为非破坏性分析技术，并作为过程控制的工具，广泛应用于采掘和加工工业。原则上，轻的元素，可分析出铍（z=4），但由于仪器的局限性和轻元素的低X射线产量，往往难以量化，所以针对能量分散式的X射线荧光光谱仪，ESI-30S光谱仪全自动粉末压片机，可以分析从轻元素的钠（z=11）到铀，而波长分散式则为从轻元素的硼到铀。
测试方法编辑 播报光谱测金机的测试方法及要求：1.仪器的校核根据仪器的具体要求进行校核。2. 测试条件3 .实验室的环境条件要求应满足相应仪器要求。4.仪器达到稳定状况方可进行测量。5.测试方法6.选取测试点不得少于三点。7. 测量值取各测量结果的平均值。测量进度高：测量误差是±0.1%提供谱线重叠比较工具，便于用户查明未知元素谱峰提供密度法复核软件，可对本机测定结果进行复核。
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