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可由密封件老化，安装不当，损坏失效，表面不平整、有杂质、粗糙和铸件疏松等引起。如果停泵后返油，油会进入气镇阀，不关气镇阀可能会漏油。自制橡胶垫时，一定要用耐油橡胶，要按照原设计形状，密封面太大时压不紧会漏油。
由于化工工艺的工况比较恶劣，工作周期很长，所以真空泵首先要可靠耐用、性能稳定，同时还必须具有下列性能：
●能够处理各种不同溶剂的蒸汽，且不会对泵造成损害；
●不会对工艺过程和环境造成污染；
●产生的废物要尽可能减少；
●真空泵要耐腐蚀；
●能够处理可燃性气体或蒸汽；
●能够吸入液体而不损害泵。
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注意不要损伤连接处的包装。在所有的连接和吻合处标注缝线。卸下的部件需要防尘处理。特别主要保护好密封零部件，齿轮以及轴承。
在许多化工企业，真空设备如同水、电和压缩空气一样是不可缺少的公共设施。真空通常用以去除空气或水蒸汽，以防止对工艺过程产生干扰，真空还可以提高反应过程的效率以及重要化合物的回收率。
轴端密封失效：当轴端密封盘根损坏或密封水孔道被阻塞后，会形成空气从这些损坏的缝隙中被吸入到泵体内，会形成泵的吸气及排气性能。若只要一侧密封失效时，会形成叶轮两边压力不平衡，转子发生轴向力，使轴承负载加剧，从而使轴承温度增加。
总体安装注意事项
①、安装前应检查分子泵运输中是否被损坏。
②、打开泵高真空端法兰盖板，戴好手套，拨动涡轮转子，应转动灵活，无异常现象。
③、安装环境应符合技术要求和真空卫生要求。
④、确认防护网已安装，特殊情况下定做特殊防护网。
⑤、确认已装入润滑油。
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扩散泵的运用
使用扩散泵时，需按说明书规定，保证有一定的加热功率和冷却水流量，被抽容器内的压力由前级泵抽到低于允许zui大工作压力后，才能启用。另外宜于在泵完全正常工作后，才打开阀门正式使用。停止使用时，需要待泵油冷却后才能关掉前级机械泵，如有可能将扩散泵始终保持在真空状态下*好，shimadzu进口真空泵的维修服务，*后关去冷却水。
抗震动完成检测对一批泵（处在运作和非运作标准下）开展一系列检测，证实对外界源造成震动的耐受力在105分鐘的震动周期时间中，全转速比和不运作的每一个泵在垂、水准、倒立起来方位上遭受0.5–3g瞬时速度水准的震动。该检测确认了泵的可靠性及其耐振性，由于未观查到转子机械设备触碰或泵运作情况的更改，且泵不平衡依然远小于阀值。
轴封发热填料压得太紧或磨擦
处理方法：放松填料，检查水封管；
水封圈与水封管错位
处理方法：重新检查对准；
冲洗、冷却不良
处理方法：检查冲洗冷却循环管；
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