氦质谱检漏仪的检漏率应高于设备所允许漏率1-2个数量级。首先将设备稳固的置于明亮、透风良好的场所，连接好检漏用管路及压力表，应将压力表安装在测漏容器的顶部便于观察的位置。质谱检漏仪之间使用金属软管连接。氦质谱检漏仪应在校验后使用并在检漏期间每 1- 2 小时校验。氦质谱检漏主要领域：原子能工业——气体扩散处理系统；高能物理研究院——及其配件；
氦质谱检漏仪的检漏率应高于设备所允许漏率1-2个数量级。首先将设备稳固的置于明亮、透风良好的场所，连接好检漏用管路及压力表，应将压力表安装在测漏容器的顶部便于观察的位置。于氦检是通过氦穿过漏孔来检漏的，所以焊缝表面若存有油污、 焊渣以及设备内部的积水、污垢等都会使泄漏孔暂时阻塞而影响检测结果，因此，测试前必须设备内部清理干净及焊缝表面并用热风装置将设备内部干燥。可先用氮气或其它惰性气体将设备压力提高， 然后用纯氦气或氦气混合气把测试设备的内压增加至测试压力且 应使设备内部至少含有10%-20%的氦气含量。
油箱试验件的细漏漏点采用正压法检测。试验时，向油箱 试验件内部充入氦气和压缩空气的混合气体，电力行业检漏厂，使油箱内部压力大于外界大气压，如果有漏点存在，氦气就通过漏点泄漏出来，用吸进行探测，就能确定是否存在泄漏。检测过程要保证在吸上加罩盒。一是为了防止环境中氦浓度过高，影响检测;二是为了防止一大片的漏点同时泄漏，不能检测到漏点的确切位置及单个漏点的漏率。检测时，吸要沿着漏点缓慢移动，以便能够检测出漏源的准确反应值。
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