用X射线照射试样时，试样可以被激发出各种波长的荧光X射线，需要把混合的X射线按波长（或能量）分开，分别测量不同波长（或能量）的X射线的强度，以进行定性和定量分析，为此使用的仪器叫X射线荧光光谱仪。
XRF光谱仪选购要点：
1.探测器的类别，英飞思，不同型号的探测器比如正比计数盒，Si-pin， SDD和FSDD的表现差异非常大，价格也相差明现。
2.光管的选型（功率，靶材，端窗或者侧窗，玻璃还是铍窗窗口，稳定性）
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XRF（X-Ray Fluorescence-X射线荧光） 光谱仪是一种原子发射光谱仪。 在 XRF光谱仪 中，来自 X 射线光管主 X 射线光束的辐照会使荧光 X 射线的辐射呈现出样品中所存在元素的分散能量特征。
根据研究光谱方法的不同，习惯上把光谱学区分为发射光谱学、吸收光谱学与散射光谱学。这些不同种类的光谱学，从不同方面提供物质微观结构知识及不同的化学分析方法。发射光谱可以区分为三种不同类别的光谱：线状光谱、带状光谱和连续光谱。线状光谱主要产生于原子，带状光谱主要产生于分子，连续光谱则主要产生于白炽的固体或气体放电。现在观测到的原子发射的光谱线已有百万条了。
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