广州潽拓光电科技有限公司——Agilent真空泵
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高真空泵可将腔室或系统抽空到高机械泵（10-3至10-8托）或极高机械泵（<10-8托）的压力范围内。机械泵和文丘里管发生器在中等偏上至粗机械泵范围内运行
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分子泵不能用于抽除液体或者带有粉尘、固体颗粒的气体;除了耐腐蚀型泵以外，Agilent真空泵维护电话，其他任何分子泵不能用于抽除腐蚀性气体，耐腐蚀型泵在抽除腐蚀性气体时，必须给分子泵的保护气体入口连续通惰性保护气体如氮气等，Agilent真空泵维修费用，且泵油使用我公司提供的*用耐腐蚀分子泵油。
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当分子泵出现故障无法使用时，应暂停生产，并在手动充满空气后更换备用分子泵；
当分子泵未启动时，检查前级泵和电磁阀是否正常工作；
当分子泵发生故障时，必须根据故障提示进行处理。
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