灭菌特种气体由于它的活泼型，杀菌力强、杀菌谱广，对物品损害轻微等优点，已成为目前主要的日常低温灭菌方法之一，特种气体分类：电子气体是指用于半 导体及其它电子产品生产的气体，目前，我国电子气体品种基本齐全，但数量和质量与 发达国家相比，尚有较大差距；电子特种气体是集成电路、平板显示、发光二极管、太阳能电池等半导体行业生产制造过程中不可或缺的关键性化工材料，被广泛的应用 于清洗、刻蚀、成膜、掺杂等工艺。
特种气体 specialily gas：用于各种电子产品生产的薄膜气体、掺杂气体、外延气体、离子注入气体、刻蚀气体及工艺设备所使用的气体。通常包括可燃性气体、氧化性气体、腐蚀性气体、毒性气体、惰性气体等。目前，国内共有特种气体生产企业达150余家，多数企业生产规模较小。跨国企业已经在国内投资设立了众多合资或独资的气体公司，占国内销售气体产品市场份额的70%左右。特种气体应用于国民经济的很多行业， 它在电子行业、石油化工、医1药等各领域发挥着巨大的作用。我国特种气体经过30余年的发展， 无论在气体品种上，还是在数量上， 都以的速度发展，特种气体厂， 生产的品种基本上满足了市场的需求。
灭菌特种气体主要应用于（绷带、缝线及手术器具）、包装、纺织品、橡塑制品、化妆、粮食等产品及贮藏方面的杀菌。特种气体的储存注意事项：储存场地的道路，特种气体，应占整个场地面积的20%以上。充填容器和空容器需要明确区分存放。充填容器入库前需检漏，特种气体销售，长期存放的充填高压容器需要每月复检一次，并做记录。灭菌特种气体由于它的活泼型，杀菌力强、杀菌谱广，特种气体生产厂家，对物品损害轻微等优点，已成为目前主要的日常低温灭菌方法之一，
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