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广州潽拓光电科技有限公司——普发真空泵分子泵真空机组

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高真空机组

①选好主泵，主泵有扩散泵、分子泵、溅射离子泵、钛泵、低温泵等。

②选好预抽泵、储气管(防震、缩短工作周期、防止真空室内瞬间大量放气、稳定扩散泵出口压力)

超高真空机组

主泵极限真空度要高、漏气率要低、耐200~450℃烘烤。

①扩散泵机组：降低返流、控制污染;

②分子泵机组：对氢压缩比小，残余气体主要是氢;

③溅射离子泵机组：通常与钛泵联合使用;

④低温泵机组：无污染。

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真空泵抽不到极限真空度的原因

   当该故障发生时，应当首先检查真空系统的气密性，看是否有轻微漏气。其次，普发真空泵油棉污染，应当打开气镇，让泵运行30分钟左右，来抽干非泵油污染引起的可压缩蒸汽，排除可压缩蒸汽对极限真空度的影响。

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直联旋片真空泵的噪音

　　(1)真空泵旋片弹簧折断，可调换弹簧。

　　(2)真空泵的有毛刺、脏物或变形，运转发生障碍，应检查修磨清洗。

　　(3)真空泵的轴承磨损，零件磨损。应修整或更换。

　　(4)真空泵的电机出毛病，应进行检查。

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流量和真空度是进口真空泵选型时主要影响因素。

1、流量：

是决定产品的大小，流量要求愈高，产品体积相对愈大，普发真空泵维修价格，所需配用的电机功率亦会愈高。

二、真空度:

是决定产品采用何种结构，真空度是有表压及jue对压力这两种读数。jue对压力表示读数是值，即读数愈靠近‘0"，真空度愈高。但反观表压，愈接近760mmHɡ即表示真空度愈高，假若你所要求的压力（极限真空）是靠近‘0"，那么只有真空泵才可以满足这个需求，但假若需求是靠近1bar（即大气压力），那么便可以选用鼓风机或离心风机来满足这个需求。

Pfeiffer 涡轮分子泵 HiPace? 10-300， 抽速范围 10-260 l/s 的复合轴承分子泵， 涡轮分子泵 HiPace? 10-300 快速启动， 集成控制器，中山普发真空泵， 带有多样化的接口， Profibus， DeviceNet 或者 E74. 由于采用了革新的电子元器件材料， Pfeiffer 涡轮分子泵集成控制器的使用寿命比原来要长2倍.

变容积式真空泵的工作原理和优点

（1）往复真空泵、旋片真空泵、滑阀真空泵、好凯德罗茨真空泵是靠活塞往复运动或旋转将气体吸入、压缩并排出。它们的优点是新投入使用的泵真空度相对比较高。  　　

（2）水环真空泵是靠装在泵壳内的带有多叶片的偏心转子旋转，把水抛向泵壳形成与泵壳同心的水环，水环与转子叶片形成了容积周期变化从而将气体吸入、压缩并排出。它的优点是低真空时抽气量大、可以直接抽吸水蒸汽等可凝性气体。

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